ASML EUV光刻机关键部件供应商TRUMPF落户深圳！

据“滨海宝安”消息，5月24日，全球高端装备领域领先企业、全球光刻机巨头ASML的极紫外（EUV）光刻机的“drive laser”唯一供应商——德国通快集团（TRUMPF）宣布其在深圳的分公司成功开幕。

▲通快深圳分公司开幕仪式在宝安中德（欧）产业示范园举行。

据介绍，通快集团早在2021年11月的第四届中国国际进口博览会期间，就已经与宝安区投资管理集团有限公司签约，宣布在宝安中德（欧）产业示范园投资建设“通快大湾区激光应用研发中心项目”。

通快集团激光技术首席销售官Thomas Fehn表示，之所以选择落户深圳，是因为“深圳的激光行业上下游产业链高度集中，区域创新能力强劲，高端人才集聚明显。而宝安是一个很独特的区域，通快许多行业龙头客户都做出了相同的选择——来到深圳宝安，宝安的区位优势与发展潜能也在迅速提升。因此，与通快目前在中国的大本营——华东长三角地区相比较，布局深圳宝安是通快巩固中国市场非常有利的一个补充。”

通快中国激光技术CEO黄哲也表示，选择深圳宝安，除了基于宝安扎实的制造业基础，拥有丰富的激光行业应用场景；也因这里聚集了通快诸多高质量客户，除了商业合作，双方在研发领域也达成了深入合作。通快深圳分公司的开幕凸显了通快坚定不移地致力于满足中国市场的需求，并认识到大湾区的巨大创新动能。通快这次战略扩张，旨在促进与宝安乃至大湾区本地客户的紧密合作，实现创新的解决方案，并进一步巩固其对满足激光行业不断发展的需求的承诺。

据了解，通快深圳分公司目前主要包含激光应用研发中心、客户服务中心两大功能。通快新的深圳分公司将立足粤港澳大湾区，辐射整个华南乃至东南亚市场。

嘉宾参观通快深圳分公司激光应用研发中心。

根据官方资料显示，通快集团创立于1923年，起初是一家机械厂，如今已经发展为工业用机床、激光技术和电子技术领域的世界领先企业，业务涵盖了半导体、汽车、电池、消费电子、医疗器械、航空航天等高端智能制造业。在 2021/22 财政年度，通快集团的员工人数达到了 16554 人，同时营业额为 42.228 亿欧元。其中通快中国实现销售收入5.75亿欧元，同比增长9.6%，创下通快在华22年以来历史新高。

特别值得一提的是，通快集团的官网上还特别提到，其与全球最大的光刻系统制造商 ASML 以及镜头制造商蔡司紧密协作，研制出了独一无二的二氧化碳激光系统，它每小时可加工 100 多个晶圆。

在“滨海宝安”的官方稿件当中，也将通快集团称之为“全球唯一一家能够供应极紫外（EUV）光刻机光源的厂商”。

但是实际上，ASML的EUV光源唯一供应商是ASML的美国子公司Cymer。通快集团向ASML EUV光刻机供应的关键部件是“drive laser”，但并不能直接产生13.5nm波长的EUV光线。

那么通快集团供应的“drive laser”到底是起什么作用的呢？在这之前，我们先来回顾下ASML EUV光刻机的核心部件及EUV光源产生的步骤。

ASML EUV光刻机主要是由“照明光学模组”（Illuminator）、“投影光学模组”（Projection optics）、“光罩传输模组”(Reticle Handler)、“光罩平台模组”(Reticle Stage)、“晶圆传送模组”（Wafer Handler）、“晶圆平台模组”（Wafer Stage）及“光源模组”（Soure）这七大模组组成。

其中，EUV光源被称为激光等离子体光源，是通过30千瓦功率的二氧化碳激光器轰击以每秒50000滴的速度从喷嘴内喷出的锡（Sn）金属液滴，每滴两次轰击（即每秒需要10万个激光脉冲），将它们蒸发成等离子体，通过高价锡离子能级间的跃迁获得13.5nm波长的EUV光线。

△镭射系统

△锡金属液滴以每秒50000滴的速度从喷嘴内喷出，通过二氧化碳激光器镭射进行轰击，产生EUV光线

由于EUV光线波长非常短，所以它们会很容易被空气吸收，所以整个EUV光源的工作环境需要被抽成真空。同时，EUV光线也无法被玻璃透镜折射，必须以硅与钼制成的特殊镀膜反射镜，来修正光的前进方向，而且每一次反射仍会损失不少的能量，导致最终到达晶圆的光子只有原来的约5%左右。

为此，ASML与德国光学公司蔡司（Zeiss）合作，由该公司来生产世界上最平坦的镜面，以使得EUV光线经过多次反射后能够精准的投射到晶圆上。

△蔡司的反射镜

看完上面的介绍，我们来揭晓答案，通快集团供应的“drive laser”就是那个30千瓦功率的二氧化碳激光器。

根据官网资料显示，通快集团向ASML供应的二氧化碳激光器拥有457,329个部件，系统内的线缆长度高达7,322米，重量更是达到了17,090千克。

△通快激光放大器的核心组件——高功率种子模块 (HPSM)

一位ASML内部人士也进一步向芯智讯解释道，在EUV的光源分为两个部分，第一个部分就是通快集团供应的初级二氧化碳激光器，也称之为“drive laser”，其主要作用就是提供10600nm波长的高功率激光，用来照射锡（Sn）金属液滴，以产生13.5nm波长的EUV光线。第二部分则是Cymer的工作，其主要承担提供并控制锡金属液滴，以及将通快的激光器轰击锡金属液滴产生的13.5nm波长的EUV光线收集，并通过反射镜修正光的前进方向的工作。

通快集团也确实是ASML EUV光刻机的唯一“drive laser”供应商。这主要是因为这个市场太小，ASML没有必要引入第二家供应商，2022年一整年ASML才出货了60台左右的EUV光刻机。

但不管怎么样，通快集团的“大湾区激光应用研发中心项目”落户深圳还是有着非常重要的意义的。虽然快通集团自2000年开始，就有在中国进行直接投资，并先后在江苏太仓与广东东莞投资了四家生产化企业，但这些企业主要是生产数控钣金加工机床，并未涉及激光技术领域。

值得注意的是，去年10月，美国宣布了多项对华半导体出口的限制措施，这些也影响到了半导体设备制造商的上游供应商。今年3月，荷兰布拉邦省投资发展局（Brabant Development Agency）公告声明，荷兰ASML的数十家供应商高层，将走访越南、马来西亚和新加坡等地，评估在东南亚设厂的可能性，藉此分散地缘政治风险。

与此同时，一些ASML的供应商也在加强在中国大陆的投资布局。除了前面提到的通快集团落户深圳的“大湾区激光应用研发中心项目”之外，ASML的另一家供应商KMWE也于今年3月与乐山市瑞鸽工业园举行签约仪式，入驻了乐山市瑞鸽工业园区。

资料显示，KMWE最初成立于1955年，是一家家族企业，其主要业务包括各种材料和不同尺寸部件的高复杂度和高精度加工；洁净室和洁净室环境中组装高度复杂的机电一体化模块和系统；制造由不同类型的组件和合金制成的复杂钣金组件；使用热喷涂技术来应用各种涂料；使用选择性激光熔化、基于熔覆和 EBAM 技术来创建高度复杂的 3D 金属部件；铝、不锈钢和钛的高质量表面处理；各种材料的高精度清洁等。

编辑：芯智讯-浪客剑

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